詳細(xì)說明

超快激光切割機(jī)NXC-300是專為 8 英寸半導(dǎo)體基片精密加工設(shè)計(jì)的高端設(shè)備，集成了定制紅外皮秒激光器、德國 SCANLAB ExcellisCAN14 高速振鏡系統(tǒng)、高精度直線電機(jī)運(yùn)動平臺和 8 英寸晶圓自動上下料系統(tǒng)。設(shè)備采用全封閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具備優(yōu)異的加工精度、穩(wěn)定性和安全性，可實(shí)現(xiàn)石英、硅、玻璃、陶瓷等多種硬脆材料的高精度切割和打孔加工。